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圓光柵
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PI20系列增量式圓光柵,圓光柵尺柱面上刻有20 µm柵距的增量式刻線,并具有光學參考零位。具有四種尺寸可供選擇(直徑75、100、150、200、300 mm)。圓光柵安裝精度較佳,且具有錐面安裝系統,可減少對公差要求高的加工零件的需求,并消除偏心。具有內徑大、安裝靈活的特點。非接觸形式消除了傳統封閉式光柵固有的反向間隙、扭轉誤差(扭變)及其他機械滯后誤差。
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